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Calibrazione della dimensione delle particelle del materiale di riferimento dello standard NIST

NIST, materiale di riferimento standard, microsfere e sfere di polistirene utilizzate negli standard di calibrazione e contaminazione dei wafer per verificare l'accuratezza delle dimensioni dei sistemi di ispezione dei wafer KLA e KLA-Tencor.

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Descrizione

 

NIST SRM, Standard delle dimensioni delle particelle, Sfere PSL, Calibrazione delle dimensioni

Gli standard di dimensione delle particelle NIST SRM sono gli standard di calibrazione conosciuti in tutto il mondo per l'uso con qualsiasi applicazione che richiede uno standard di dimensione NIST SRM (materiale di riferimento per le dimensioni) con dimensioni estremamente precise, picchi di dimensioni strette e deviazione standard ridotta. Possono essere utilizzati per la calibrazione e la validazione di una varietà di apparecchiature per il dimensionamento delle particelle, inclusi strumenti di diffusione della luce, microscopi elettronici e analizzatori di mobilità differenziale. Sono particolarmente importanti per la calibrazione dei sistemi di ispezione per scansione di superficie, che vengono utilizzati per rilevare e caratterizzare i difetti sui wafer di silicio. Sono necessarie particelle di riferimento precise per sviluppare e far evolvere i sistemi di scansione per un'elevata produttività e una produzione di wafer economicamente vantaggiosa, fondamentale per la miniaturizzazione dei dispositivi. Le particelle di riferimento possono anche essere usate per fornire particelle mono-disperse (picco di singola dimensione) per testare strumenti di aerosol e sono utili per esaminare la cinetica dell'aerosol e valutare la risposta del rivelatore di particelle.

Il valore certificato per il diametro modale:

60 nm SRM 1964 le microsfere di polistirene è di 60.39 nm, con un'incertezza espansa di ± 0.63 nm;

100 nm SRM 1963A le microsfere di polistirene è di 101.8 nm, con un'incertezza espansa di ± 1.1 nm;

269 nm SRM 1691 le microsfere di polistirene è di 269 nm, con un'incertezza espansa di ± 4 nm;

895 nm SRM 1690 microsfere di polistirene è 895 nm, con un'incertezza estesa di ± 5 nm.

Le misurazioni sono state eseguite utilizzando l'analisi della mobilità differenziale e sono riconducibili alla lunghezza d'onda del laser He-Ne in aria, 632.807 nm, che è stata determinata rispetto allo standard fondamentale per la lunghezza.

Microsfere di lattice di polistirene, 20-900 nm, particelle di lattice di polistirene - Compra Ora

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I diametri sferici sono calibrati con dimensioni lineari calcolate dal NIST. Le sfere vengono utilizzate al posto delle particelle di forma irregolare per ridurre al minimo la risposta degli scanner laser sensibili alle particelle di forma. Gli standard sono confezionati come sospensioni acquose in flaconi contagocce 5 millilitri (ml). Le concentrazioni di particelle sono ottimizzate per facilitare la dispersione e la stabilità colloidale. Le sfere hanno una densità di 1.05 g / cm3 e un indice di rifrazione di 1.59 @ 589 nm, misurato a 25 gradi centigradi.

Ogni confezione contiene un certificato di calibrazione e tracciabilità al NIST che include una descrizione del metodo di calibrazione e della sua incertezza e una tabella delle proprietà chimiche e fisiche. È inoltre disponibile una scheda di sicurezza, con istruzioni per la manipolazione e lo smaltimento. Le bottiglie PSL sono numerate a lotto per un comodo servizio tecnico e supporto dopo la vendita.

Sfere NIST SRM 60.4nm, 101.8nm, 269nm e 895nm
Composizione delle particelle Lattice di polistirene, sfere PSL
Densità delle particelle 0.625 g / cm³
Indice di rifrazione 1.59 @ 589nm (25 ° C)
Dimensione bottiglia 5 mL
Data di scadenza ≤ 24 mesi
Additivi Contiene tracce di tensioattivo
Temp. Di archiviazione suggerita 2-8 ° C
Dimensione e volume della bottiglia Bottiglia 5ml
Sfere PSL, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm

Codice prodotto

Diametro nominale

Picco medio certificato

Std. Sviluppo e CV

Contenuto solido

AP1690   

 895 nm

895nm ± 5 nm

 0.7 nm

0.50%

AP1691   

 269 nm

269nm ± 4 nm

 5.3 nm

0.50%

AP1963A   

 101.8 nm

101.8nm ± 1.1 nm

 0.55 nm

0.50%

AP1964   

 60.4 nm

60.39nm ± 0.63 nm

0.31 nm

0.50%

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