Applied Physics USA
Perline in lattice di polistirene, dimensioni standard delle particelle
Applied Physics USA: sfere PSL, microsfere di polistirene, standard di dimensione delle particelle
Applied Physics Gli Stati Uniti forniscono sfere PSL e sfere di polistirene come standard di dimensioni delle particelle per la calibrazione degli strumenti aerosol. Anche gli strumenti di ispezione dei wafer, come KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE e Hitachi richiedono la calibrazione delle dimensioni, che viene eseguita mediante l'uso di sfere in lattice di polistirene. Le sfere PSL, le microsfere e le sfere di polistirene sono fornite in dimensioni da 20 nm a 10 micron per calibrare le curve di risposta dimensionale dei rispettivi sistemi di ispezione wafer e contatori di particelle laser. Le sfere PSL da 20 nm a circa 5 micron vengono generalmente utilizzate per calibrare la risposta dimensionale dei contatori di particelle laser. Le microsfere di polistirene possono essere utilizzate per produrre standard di wafer di calibrazione e standard di wafer di particelle, che vengono utilizzati per calibrare la risposta dimensionale degli strumenti KLA-Tencor Surfscan e dei vecchi strumenti Tencor Surfscan
Applied Physics USA
Le perle di lattice di polistirene possono essere ordinate chiamando Applied Physics a (719) 428-4042.
I sistemi di ispezione dei wafer, denominati sistemi di ispezione della superficie di scansione, SSIS, in particolare da KLA-Tencor e Hitachi, sono calibrati utilizzando gli standard di wafer PSL, che sono wafer Prime Silicon depositati con sfere PSL a dimensioni specifiche e distribuzione di dimensioni ristrette. Gli strumenti di ispezione dei wafer vengono utilizzati per ispezionare la pulizia delle superfici dei wafer da 300 mm, 200 mm, 150 mm; silicio nudo o pellicola depositata, superficie del wafer. L'SSIS può identificare la posizione X/Y delle sfere e delle particelle PSL, descrivere la dimensione di ciascun difetto e riassumere un conteggio complessivo delle particelle sulla superficie del wafer. I sistemi di ispezione wafer KLA-Tencor, come Tencor 6200, 6420 e KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 e KLA-Tencor SP3, sono utilizzati in tutta l'industria dei semiconduttori per questa applicazione. Topcon dispone dei sistemi di ispezione dei wafer serie 3000, 5000 e 7000. Estek, ADE, Aeronca e Hitachi forniscono anche una varietà di sistemi di ispezione dei wafer. Quasi tutti gli SSIS prodotti oggi sono ora in grado di rilevare con una sensibilità della dimensione delle particelle di 30 nm o superiore. Le sfere PSL vengono utilizzate per rappresentare gli standard di dimensione delle particelle sulla superficie del wafer. Applied Physics offre dimensioni della sfera PSL da 20 nm a 160 micron per la calibrazione delle dimensioni, i test del filtro HEPA, ecc. Le sfere PSL possono essere ordinate chiamando Applied Physics a (719) 428-4042.
Le sfere PSL vengono utilizzate con i sistemi di deposizione di wafer PSL per produrre standard di wafer PSL, detti anche standard di wafer di particelle. In entrambi i casi, dopo che lo standard PSL Wafer è stato prodotto, viene quindi posizionato su un sistema di ispezione wafer e scansionato da un SSIS laser singolo o SSIS laser doppio. La risposta effettiva alla dimensione PSL viene confrontata con la risposta relativa alla dimensione SSIS. Se i due picchi non corrispondono, l'SSIS deve essere calibrato. Le sfere PSL premiscelate ad alta concentrazione sono per sistemi 2300XP1, 2300 NPT-1, 2300NPT-2 e M2300G3.
Sfere PSL, concentrazione dell'1%.
Le sfere PSL premiscelate sono disponibili in un flacone 50ml, di dimensioni mono-disperse (distribuzione delle dimensioni di 1) e sono fornite da circa 47nm a 950nm di dimensioni. Questa soluzione PSL viene versata direttamente nel nebulizzatore o nel contenitore dell'atomizzatore. Il premiscelato è un modo conveniente per acquistare le perle di lattice di polistirene, poiché tutta la diluizione è stata eseguita in modo molto uniforme, senza problemi, senza complicazioni, consentendo all'utente di non occuparsi della miscelazione delle perle di lattice di polistirene utilizzando bicchieri, acqua DI e vassoi ad ultrasuoni. Il materiale PSL non miscelato è fornito in un flacone 15ml, di dimensioni mono-disperse (distribuzione dimensionale 1) e in genere in concentrazione 1%. Queste sfere PSL sono disponibili in una vasta gamma di dimensioni, ma per i nostri scopi, dalle dimensioni 20nm a 4um. Il materiale PSL deve essere miscelato alla diluizione corretta o sarà concentrato o troppo debole per fornire risultati efficaci quando si tenta di depositare da uno dei sistemi di deposizione di wafer PSL sopra menzionati. Collegamento nebulizzatori per camera bianca