Standard di wafer di particelle di silice, Standard di dimensioni delle particelle di silice

Standard di wafer di particelle di silice, Standard di dimensioni delle particelle di silice

Standard delle dimensioni delle particelle di silice Negli odierni laboratori di metrologia dei semiconduttori, gli strumenti di ispezione dei wafer utilizzano laser ad alta potenza per eseguire la scansione di wafer di silicio da 200 mm e 300 mm per rilevare particelle superficiali fino a < 30 nanometri. Durante la calibrazione della scansione ad alta potenza laser...
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