by John Turner | Novembre 2, 2023 | Altro
Qual è il metodo migliore per conservare gli standard dei wafer di calibrazione prodotti con dimensioni delle particelle inferiori a 100 nm? Le camere bianche normalmente funzionano a 70°F, circa 21°C e in genere intorno al 40% di umidità. Quando si utilizza uno standard per wafer di calibrazione per calibrare le ispezioni dei wafer...
by John Turner | Febbraio 10, 2020 | Particelle di silice
Standard delle dimensioni delle particelle di silice Negli odierni laboratori di metrologia dei semiconduttori, gli strumenti di ispezione dei wafer utilizzano laser ad alta potenza per eseguire la scansione di wafer di silicio da 200 mm e 300 mm per rilevare particelle superficiali fino a < 30 nanometri. Durante la calibrazione della scansione ad alta potenza laser...