Surf-Cal, standard granulometrici, volume 50 ml, premiscelato a 1x10E8 e 1x10E10 concentrazione/ml

Standard di dimensione delle particelle SURF-CAL™ utilizzati nella calibrazione delle dimensioni e nel monitoraggio dei sistemi di ispezione delle superfici di scansione (SSIS). Le dimensioni delle particelle sottostanti corrispondono alle dimensioni delle particelle di calibrazione richieste dai produttori di strumenti. È necessario completare i controlli periodici della calibrazione e il monitoraggio settimanale delle dimensioni e del conteggio per garantire che lo scanner per l'ispezione dei wafer sia confrontabile con gli scanner in altre posizioni. Tutte le microsfere di polistirene sono sospese in acqua filtrata deionizzata in un flacone da 50 ml di volume a una concentrazione di 3 × 10 E8 o 1 × 10 E10 particelle per ml. Le dimensioni indicate con * sono simili alle particelle NIST SRM a quel diametro. L'indice di rifrazione è 1.59 a 589 nm (25°C) per tutte le microsfere di polistirene sottostanti. Ogni bottiglia è stabile per 12 mesi ed è confezionata con un certificato di calibrazione e tracciabilità NIST.

Depositando sfere PSL (lattice di polistirene) tracciabili SURF-CAL, NIST su silicio nudo e wafer modello, è possibile eseguire controlli periodici di calibrazione delle dimensioni sugli strumenti KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS e confrontare lo scanner di ispezione dei wafer con gli scanner su altre località. Puoi anche valutare le prestazioni del tuo SSIS nelle fasi critiche del processo di produzione. Tutti i prodotti sono sospesi in acqua filtrata deionizzata (acqua DI) in flaconi da 50 mL a una concentrazione di 3 x10 e10 particelle/mL o 1 x10 e10 particelle/mL. Questi standard di dimensioni delle particelle Surf-Cal sono microsfere di polistirene che sono state dimensionate mediante l'analizzatore di mobilità differenziale (DMA) o altre tecniche di esclusione dimensionale.